场发射扫描电子显微镜预公告
1.采购项目：场发射扫描电子显微镜（FESEM）1台
关键技术要求：
1）分辨率：
（1）优于1.0nm@30keV。
（2）优于0.5nm@15keV。
（3）优于1.0nm@1keV。
2）放大倍数范围：12X～1,000,...
1.采购项目：场发射扫描电子显微镜（FESEM）1台
关键技术要求：
1）分辨率：
（1）优于1.0nm@30keV。
（2）优于0.5nm@15keV。
（3）优于1.0nm@1keV。
2）放大倍数范围：12X～1,000,...