12英寸非接触式光刻机-公开招标公告

1.招标条件
本招标项目12英寸非接触式光刻机招标人为中国科学院上海技术物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对12英寸非接触式光刻机进行国内公开招标。
2.项目概况...